按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（400-1000Hz）和高頻（>1000Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高等缺點，已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是現在常用的產品。

影響臭氧濃度的主要因素有
1、臭氧發生器的結構和加工精度；
2、冷卻方式和條件；
3、驅動電壓和驅動頻率；
4、介電體材料；
5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。
6、發生器電源系統的效率（，熱量轉化少。

臭氧發生器品質的優劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。的臭氧發生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

的臭氧發生器從設計到配置及制造材料均按其標準進行，成本遠低檔發生器和低配置發生器。但臭氧發生器性能非常穩定，臭氧濃度和產量不受環境因素影響。而低配置臭氧發生器工作時受環境影響較大，溫度和濕度的增加可使臭氧產量和濃度大幅度下降，影響處理效果。選購時應對其售價和性能進行綜合比評。

注意事項
1、將設備安裝在干燥寬敞的地方，以便于散熱和維護；
2、確保電、氣、水進出氣管線連接正確；
3、使用的線路的容量是符合要求的，以確保消除火災隱患；
4、高壓危險，不要用水沖洗設備。
5、不能置于變電所附近。
6、遠離高壓線。
7、地面不宜潮濕
8、設備距四周應有一定的空間（≥300mm)。

臭氧具有不穩定性臭氧在常溫下可以自行還原為氧氣，不會污染環境。而且，原料廣泛，水、空氣都是制取臭氧源，符合保護環境的要求。在純水、礦泉水、無鹽水的生產中，臭氧可起到消毒、滅菌、增氧、凈化和改善口感的作用；在污水處理中，臭氧可處理污水中難處理的化學物質，并有脫色、去異味作用。它在水處理工程的廣泛應用。

臭氧具有強氧化性，有四大功用：氧化、滅菌、脫色、除味。

臭氧的應用主要是滅菌消毒。這主要是因為臭氧有的氧化能力，臭氧在一定濃度下能與細菌、病毒、病原體等微生物產生生化反應。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個氧原子（O），單個氧原子具有很強的活性，對細菌、病毒、病原體等微生物具有較強的氧化作用。

臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質而完成的。

臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧能氧化分解細菌、病毒內部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接與細菌、病毒發生作用，氧化并穿透其細胞壁，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌、病毒的新陳代謝和繁殖過程遭到破壞，而奪取細菌病毒的生命。同時還可以滲透細胞膜組織、侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透性畸變，導致細胞溶解性死亡，并將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱源（內毒素）等溶解死亡。綜觀無菌技術對微生物作用的原理可分為型、殺菌和溶菌型三種。臭氧滅菌消毒屬于溶菌型劑體，可以達到“、地消滅物體內部所有微生物的目的”，不僅這樣而且它的作用是瞬間完成的。